光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。等离子表面处理机利用高温等离子体对材料进行物理或化学处理，以达到改善材料性能、提高产品质量的目的。北京低温等离子清洗机厂家推荐
真空等离子处理是如何进行?要进行等离子处理产品,首先我们产生等离子体。首先，单一气体或者混合气体被引入密封的低压真空等离子体室。随后这些气体被两个电极板之间产生的射频（RF）jihuo，这些气体中被jihuo的离子加速,开始震动。这种振动“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。在处理过程中,等离子体中被jihuo的分子和原子会发出紫外光，从而产生等离子体辉光。温度控制系统常用于控制刻蚀速率。60-90摄氏度温度之间刻蚀，是室温刻蚀速度的四倍。对温度敏感的部件或组件,等离子体蚀刻温度可以控制在15摄氏度。我们所有的温度控制系统已经预编程并集成到等离子体系统的软件中间。设置保存每个等离子处理的程序能轻松复制处理过程。可以通过向等离子体室中引入不同气体，改变处理过程。常用的气体包括O2、N2,Ar,H2和CF4。世界各地的大多数实验室，基本上都使用这五种气体单独或者混合使用，进行等离子体处理。等离子体处理过程通常需要大约两到十分钟。当等离子体处理过程完成时,真空泵去除等离子室中的污染物，室里面的材料是清洁,消过毒的,可以进行粘接或下一步程序。北京低温等离子清洗机厂家推荐等离子设备清洗机是一种新型的清洗机，具有清洁效果好、清洗时间短、使用方便等特点。
等离子清洗是一种环保工艺，由于采用电能催化反应，同时利用低温等离子体的特性，可以提供一个低温环境，排除了湿式化学清洗所产生的危险和废液，安全、可靠、环保。与传统的溶剂清洗不同，等离子清洗无需水及溶剂添加，依靠等离子体的“活化作用”达到清洗材料表面的目的，清洗效果彻底并保证材料的表面及本体特性不受影响。等离子清洗技术容易实现智能化控制，可装配高精度的控制装置，控制时间，及等离子强度。更重要的是，等离子清洗技术不分处理对象的材料类型，对半导体、金属和大多数高分子材料均有很好的处理效果，可实现整体和局部以及复杂结构的精密清洗。
等离子体表面处理机也叫等离子清洗机、等离子表面处理机、plasma清洗机；用户对它的称呼非常多，它实际功能在于对物体表面处理，清洗、改性、刻蚀等；解决用户不同的表面处理需求。表面活化：设备生产的等离子体内有大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，通过物理及化学反应，将表面污染物、杂质处理，达到表面清洗的作用；表面改性：等离子体与物体表面发生反应，使得物体表面的化学键断裂，等离子体中的自由基反应生产新键，提高表面活性，有利于粘接、涂覆等工艺。表面刻蚀：通入腐蚀性气体进行等离子体反应时，气体与物体表面反应生产挥发性物质，通过真空泵抽离，在表面形成需要的图案、形状，完成刻蚀效果。等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。
等离子体表面处理机是一种应用广且效果明显的表面处理设备。它利用等离子体技术在物体表面形成高能离子轰击，能够有效地处理表面污染物、增加表面粗糙度、改善物体的润湿性、增强附着力等。工作原理等离子体表面处理机的工作原理主要基于等离子体技术。等离子体是一种高能量、高活性的物质状态，是由电离气体或者高温物质中的电离气体组成的。等离子体表面处理机通过加热气体、施加高压电场等手段，将气体或物质电离形成等离子体。接下来，利用等离子体产生的高能量离子轰击物体表面，使其发生化学、物理反应，从而实现表面处理的效果。真空等离子清洗机的特点就是在设备中有进行等离子处理的反应腔。北京低温等离子清洗机厂家推荐
等离子处理通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面，从而改变表面性质。北京低温等离子清洗机厂家推荐
半导体芯片作为现代电子设备的组成部分，其质量和可靠性对整个电子行业至关重要。Die Bonding是将芯片装配到基板或者框架上去，基板或框架表面是否存在有机物污染和氧化膜，芯片背面硅晶体的浸润性等均会对粘接效果产生影响，传统的清洗方法已经无法满足对芯片质量的要求。使用微波plasma等离子清洗机处理芯片表面能有效地清洁并改善表面的浸润性，从而提升芯片粘接的效果。微波是指频率在300MHz-300GHz之间的电磁波，波长约1mm-1m，具有机动性高、工作频宽大的特性，使用微波发生器配1.25KW电源产生微波将微波能量馈入等离子腔室内，使微波能量在低压环境下形成等离子体。北京低温等离子清洗机厂家推荐
