研磨液中的化学成分与硅片表面材料产生化学反应,将不溶的物质转化为易溶物质,或者将硬度高的物质进行软化,然后通过磨粒的微机械摩擦作用将这些化学反应物从硅片表面去除,溶入流动的液体中带走,即在化学去膜和机械去膜的交替过程中实现平坦化的目的。其反应分为两个过程:化学过程:研磨液中的化学品和硅片表面发生化学反应,生成比较容易去除的物质;物理过程:研磨液中的磨粒和硅片表面材料发生机械物理摩擦,去除化学反应生成的物质。公司将以优良的产品,完善的服务与尊敬的用户携手并进!吉林二氧化钛粒度分析仪报价
磨料的粒度测量:以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用,CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米,典型的过大聚集体为1-10微米,并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸,同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒,提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%,粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。吉林二氧化钛粒度分析仪报价驰光机电科技不断从事技术革新,改进生产工艺,提高技术水平。
CPS纳米粒度分析仪操作权限和文件存取安全设置;屏显离心转速控制;高级数据分析功能,包括噪声过滤和分辨率加强。样品应用:地质学,土壤、粘土、沙、高岭土;环境;制药/生化;化学,杀虫剂、分散剂、催化剂、树脂、乳液、防腐剂、颜料、涂料、;陶瓷和金属,铝、硅、磁粉、钨、烧结制品、不锈钢、钴;能源,煤、燃料、浆液、页岩油乳剂;粉煤灰;食品;重工业,聚合物、油滴、磨损颗粒、白垩、填料、调色剂、纸浆/纸、PVC、水泥;生命科学。
CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展,电子器件尺寸缩小,要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分,其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm,其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸,因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用!欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题!驰光机电科技通过专业的知识和可靠技术为客户提供服务。
而CMP工艺离不开研磨料的发展,那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面,将抛光垫放置在研磨盘上,抛光时,旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上,由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动,然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下,均匀分布其上,在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。驰光以创百年企业、树百年品牌为使命,倾力为客户创造更大利益!吉林二氧化钛粒度分析仪报价
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CPS纳米粒度仪测量金刚石的粒径:金刚石微粉是指颗粒度细于36/54微米的金刚石颗粒,金刚石微粉硬度高、耐磨性好。大量用于机械、航天、光学仪器、玻璃、陶瓷、电子、石油、地质、工业部门,用于制作PCD(聚晶金刚石)、 PDC(金刚石复合片)、陶瓷结合剂、金属结合剂、电镀产品;制作拉丝模、电镀磨具,陶瓷、金属结合剂磨具等;制造金刚石树脂结合剂弹性磨块等;用于精密机械、光学玻璃、精细陶瓷、宝石及半导体等产品的研磨抛光。CPS纳米粒度分析仪测量金刚石微粉的粒径。吉林二氧化钛粒度分析仪报价
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在线型分析仪器通常需要具备抗恶劣环境、长期稳定运行和低维护等特点。根据测量原理分类:光学分析仪器,基于光与物质相互作用原理进行分析的仪器,包括光谱法、散射法、干涉法等。例如分光光度计、荧光光谱仪、红外光谱仪等。电化学分析仪器,基于电化学原理进行分析的仪器,通过测量电导率、电位、电流等电学参数来测定物质成分或浓度。例如电导率计、离子选择电极、极谱仪等。色谱分析仪器,利用不同物质在固定相和流动相之间的分配差异进行分离,并通过检测器进行检测的仪器。包括气相色谱仪、液相色谱仪、薄层色谱仪等。驰光机电生产的设备产品质量上乘。北京高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪选择专业认证的分析方法是保证分析仪准确性和可靠性...