质结电池TCO薄膜的方法主要有两种：RPD（特指空心阴极离子镀)和PVD(特指磁控溅射镀膜)；l该工艺主要是在电池正背面上沉积一层透明导电膜层，通过该层薄膜实现导电、减反射、保护非晶硅薄膜的作用，同时可以有效地增加载流子的收集；l目前常用于HJT电池TCO薄膜为In2O3系列，如ITO（锡掺杂In2O3，@PVD溅射法）、IWO（钨掺杂In2O3，@RPD方法沉积）等。HJT电池具备光电转化效率提升潜力高、更大的降成本空间。零界高效异质结电池整线解决方案，实现设备国产化，高效高产PVD DD CVD。中国在光伏异质结技术的研发和应用方面处于优势地位，拥有众多出名企业和研究机构。广东异质结材料
太阳能异质结是一种由两种不同材料组成的结构，其中一种材料是n型半导体，另一种是p型半导体。这两种半导体材料的结合形成了一个p-n结，也称为异质结。在太阳能异质结中，n型半导体的电子浓度比空穴浓度高，而p型半导体的空穴浓度比电子浓度高。当这两种材料结合在一起时，电子和空穴会在p-n结处相遇并重新组合，从而产生一个电势差。这个电势差可以用来驱动电子流，从而产生电能。太阳能异质结的结构通常包括一个p型半导体层和一个n型半导体层，它们之间有一个p-n结。在太阳能电池中，这个结构通常被放置在一个透明的玻璃或塑料表面下，以便太阳光可以穿过并照射到p-n结上。当太阳光照射到p-n结上时，它会激发电子和空穴的运动，从而产生电流。总之，太阳能异质结的结构是由一个p型半导体层和一个n型半导体层组成，它们之间有一个p-n结。这个结构可以将太阳光转化为电能，是太阳能电池的主要组成部分。广东异质结材料零界高效异质结电池整线解决方案叠加了双面微晶、无银或低银金属化工艺。
太阳能异质结电池工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H，作为钝化层，然后再沉积掺杂层；3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积；4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作；5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作，然后通过低温烧结形成良好的接触；6.光注入。7.电池测试及分选。
异质结电池（HJT电池）的特点和优势1、无PID现象由于电池上表面为TCO，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，无PID现象。同时实测数据也证实了这一点。异质结太阳能电池的技术应用与前景2、低温制造工艺HJT电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。3、高效率HJT电池一直在刷新着量产的电池转换效率的世界纪录。HJT电池的效率比P型单晶硅电池高1-2%，而且之间的差异在慢慢增大。4、高光照稳定性异质结太阳能电池的技术应用与前景在HJT太阳能电池中不会出现非晶硅太阳能电池中常见的Staebler-Wronski效应。同时HJT电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。5、可向薄型化发展HJT电池的制程温度低，上下表面结构对称，无机械应力产生，可以顺利实现薄型化；另外经研究，对于少子寿命较高（SRV<100cm/s）的N型硅基底，片子越薄可以得到越高的开路电压。异质结电池具有环保、可持续的特点，能够为未来的可持续发展做出重要贡献。
高效光伏异质结电池整线设备，HWCVD 1、热丝化学气相沉积(HotWireCVD，HWCVD)是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来制备非晶硅薄膜，对衬底无损伤，且成膜质量非常好，但镀膜均匀性较差，且热丝作为耗材，成本较高；2、HWCVD一般分为三个阶段，一是反应气体在热丝处的分解反应，二是基元向衬底运输过程中的气相反应，第三是生长薄膜的表面反应。PECVD镀膜均匀性较高，工艺窗口宽，对衬底损伤较大。HWCVD是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来成膜，对衬底无损伤，且成膜质量好，但镀膜均匀性较差且成本较高。光伏异质结的制造过程中，非晶硅层可以作为掩膜，提高电池的抗反射性能，从而提高光电转换效率。广东异质结材料
光伏异质结技术可以应用于各种类型的太阳能电池，包括晶体硅、薄膜和多结太阳能电池。广东异质结材料
光伏异质结和PN结都是半导体器件中常见的结构，但它们的区别在于其形成的原因和应用场景。PN结是由两种不同掺杂的半导体材料（P型和N型）形成的结构。在PN结中，P型半导体中的电子和N型半导体中的空穴会在结区域发生复合，形成一个空穴富集区和一个电子富集区，从而形成一个电势垒。PN结的主要应用包括二极管、光电二极管等。光伏异质结是由两种不同材料的半导体形成的结构，其中一种材料的带隙比另一种材料大。在光伏异质结中，当光子进入结区域时，会激发出电子和空穴，从而形成电子空穴对。由于材料的带隙不同，电子和空穴会在结区域形成电势垒，从而产生电压和电流。光伏异质结的主要应用是太阳能电池。因此，PN结和光伏异质结的区别在于其形成的原因和应用场景。PN结主要用于电子学器件，而光伏异质结则主要用于光电器件。广东异质结材料
