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天津原装进口内藏式中空油压夹盘
供给至上述晶片下方空间的气体举起上述晶片的力可以设定为小于通过对上述静电电极通电而产生的晶片吸持力与上述晶片的上方气氛下压上述晶片的力之和。这样的话，能够防止因向晶片下方空间供给的气体而导致晶片上浮。本发明的静电卡盘加热器中，上述静电电极也可以用作等离子体电极。通过对静电电极施加高频，还能够将静电电极用作等离子体电极，也能够通过等离子体cvd工艺来进行成膜。本发明的静电卡盘加热器中，在上述凸状环的内侧可以具有多个环状和/或放射状的槽。通过在凸状环的内侧设置这样的槽，从而使晶片下方空间内的气体流均匀化，因而使得形成导电膜的成分更加难以进入到凸状环与晶片的间隙。需说明的是，槽的深度可以为，...
发布时间：2022.06.18 -
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发布时间：2022.06.16
