辽阳标准半导体晶圆

    图3为依据本发明另一实施方式的半导体晶圆干燥设备的剖视图。具体实施方式以下将以附图公开本发明的多个实施方式。为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些公知惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。附图与说明书中尽可能使用相同的元件符号表示相同或相似的部分。除非另外定义，否则本文使用的所有术语(包含技术以及科学术语)对于所属领域中的技术人员通常理解的涵义。还应理解到，诸如常用的字典中定义的术语的解读，应使其在相关领域与本发明中具有一致的涵义，且将不以理想化或过度正式的意义解释，除非明确如此定义。请参照图1，其为依据本发明一实施方式的半导体晶圆干燥设备100的剖视图。半导体晶圆干燥设备100是用以干燥半导体晶圆200，半导体晶圆200为包含半导体材料的圆形薄片，其常用于集成电路的制造。在本实施方式中，如图1所示，半导体晶圆干燥设备100包含基座110、壳体120以及微波产生器130。基座110被配置成承载半导体晶圆200。壳体120以金属制成。半导体硅晶圆领域分析。辽阳标准半导体晶圆

    本实用新型具有以下有益效果：本实用新型在继承了平放型花篮的优点的同时，可实现多层同时清洗，有效提高了清洗效率，更重要的是可满足多种不同尺寸（例如4寸、5寸、6寸等）、不同形状（例如圆形、半圆形、扇形等）的晶圆同时清洗，进一步降低了生产成本，且灵活性更好。附图说明图1为本实用新型一个具体实施例的结构示意图；图2为具体实施例中平放花篮的结构示意图；图3为具体实施例中平放花篮安装十字形竖直挡板后的结构示意图；图4为十字形挡板的结构示意图。图中附图标记含义如下：1、提把，11、连接端口，2、平放花篮，21、圆形底盘，22、镂空侧壁，23、连接端子，24、竖直挡板。具体实施方式针对现有技术不足，本实用新型提出了一种半导体晶圆湿法清洗治具，该治具包括提把和一组平放花篮；所述提把沿竖直方向均匀设置有一组连接端口；所述平放花篮由圆形底盘和设置在圆形底盘边缘的一圈镂空侧壁组成，圆形底盘上设置有一组通孔，在所述镂空侧壁的外缘设置有至少一个连接端子，所述连接端子与提把上的任一连接端口相配合可使得平放花篮可拆卸地固定于提把上对应于该连接端口的位置。为了便于清洗过程中清洗液均匀地进入花篮，推荐地，圆形底盘上的所述通孔均匀分布。辽阳标准半导体晶圆半导体晶圆生产工艺流程。

    如果能够减少该晶圆层120的电阻值，就可以减少图1与图2的电流路径的总电阻值。此种改进能减少消耗功率，降低热耗损，增进芯片的使用寿命。想要减低该晶圆层120的电阻值，可以减少该晶圆层120的厚度。但如前所述，如何在减少该晶圆层120的厚度之后，还能维持相当的结构强度，以便抗拒应力与/或热应力造成的损害。本申请提出的解决方案之一，是至少在芯片的边缘处具有较厚的晶圆层，但是降低在芯片中间有半导体元器件之处的晶圆厚度。如此一来，可以在降低该晶圆层120的电阻值的同时，可以维持相当的结构强度。请参考图3所示，其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构300的一剖面示意图。该结构300依序包含一半导体组件层130、一晶圆层320与一金属层310。该晶圆层320夹在该金属层310与半导体组件层130之间。该半导体组件层130已经于图1与图2的说明中提到过，可以包含一或多个半导体组件。这些半导体组件可以包含垂直型的晶体管，特别是金氧半导体场效晶体管。在一实施例当中，该半导体组件层130的厚度可以是介于2-4um之间。但本领域普通技术人员可以理解到，该半导体组件层130可以包含一或多个半导体组件，本申请并不限定该半导体组件层130的厚度、层数与其他的参数。

    图11b为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面的一示意图。图12为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面的一示意图。图13为根据本申请一实施例的晶圆的一示意图。图14为根据本申请另一实施例的晶圆的一示意图。图15为根据本申请一实施例的晶圆制作方法的前列程示意图。图16a~16j为根据本申请实施例的晶圆制作过程的各阶段的剖面示意图。具体实施方式本发明将详细描述一些实施例如下。然而，除了所揭露的实施例外，本发明的范围并不受该些实施例的限定，是以其后的申请专利范围为准。而为了提供更清楚的描述及使该项技艺的普通人员能理解本发明的发明内容，图示内各部分并没有依照其相对的尺寸进行绘图，某些尺寸或其他相关尺度的比例可能被凸显出来而显得夸张，且不相关的细节部分并没有完全绘出，以求图示的简洁。请参考图1所示，其为现有半导体基板的结构100的一剖面示意图。在该结构100当中，依序包含一金属层110、一晶圆层120与一半导体组件层130。晶圆层120夹在该金属层110与半导体组件层130之间。在图1当中，该半导体组件层130可以包含垂直型设计的半导体元器件，例如包含至少一个金氧半导体场效晶体管器件(mosfet。安徽半导体晶圆制作流程。

    在晶圆15010上形成具有间距w的图案结构15034。在空化过程中形成的一些气泡15046位于图案结构15034的间距内。参考图15b所示，随着气泡气穴振荡的继续，气泡15048内的气体和/或蒸汽的温度升高，这导致气泡15048的尺寸增大。当气泡15048的尺寸大于间距w时，如图15c所示，气泡气穴振荡的膨胀力会损坏图案结构15034。因此，需要一种新的晶圆清洗工艺。如图15c所示，由气泡膨胀引起的损伤点可能小于由气泡内爆引起的损伤点，如图4b所示。例如，气泡膨胀可能会导致100nm量级的损伤点，而气泡内爆会导致更大的损伤点，1μm量级的损伤点。图15d揭示了根据本发明的一个实施例的晶圆清洗工艺的流程图。该晶圆清洗工艺从步骤15210开始，将超声波或兆声波装置置于晶圆的上表面附近。在步骤15220中，将清洗液，可以是化学液或掺了气体的水喷射到晶圆表面以填满晶圆和声波装置之间的间隙。在步骤15230中，卡盘携带晶圆开始旋转或振动。在步骤15240中，频率为f1及功率水平为p1的电源被应用于声波装置。在步骤15250中，在气泡的尺寸达到间距w的值之前，设置电源输出为零，由于清洗液的温度远低于气体的温度，所以气泡内气体和/或蒸汽的温度开始冷却。在步骤15260中。进口半导体晶圆产品的价格。辽阳标准半导体晶圆

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    在一实施例中，为了保护该金属层，并且降低物理应力与热应力的影响，该基板结构更包含：一树酯层，具有相对应的一第五表面与一第六表面，其中该第五表面的形状相应于该第四表面。在一实施例中，为了让基板结构所承载的半导体组件的设计简化，其中该边框结构区域依序包含***边结构区域、第二边结构区域、第三边结构区域与第四边结构区域，该***边结构区域与该第三边结构区域的宽度相同。在一特定实施例中，为了让基板结构所承载的半导体组件的设计更加简化，其中该***边结构区域、该第二边结构区域、该第三边结构区域与该第四边结构区域的宽度相同。在一实施例中，为了让基板结构适应所承载的半导体组件的不同设计，其中该边框结构区域依序包含***边结构区域、第二边结构区域、第三边结构区域与第四边结构区域，该***边结构区域与该第三边结构区域的宽度不同。在一特定实施例中，为了让基板结构适应所承载的半导体组件的具有更大的设计弹性，其中该***边结构区域、该第二边结构区域、该第三边结构区域与该第四边结构区域的宽度均不相同。在一实施例中，为了配合大多数矩形芯片的形状，其中该中心凹陷区域是矩形。在一实施例中，为了配合大多数方形芯片的形状。辽阳标准半导体晶圆

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