原装进口强力超薄型夹盘系列

    用于驱动多个加热器。mcu与加热器驱动器连接，通过控制加热器驱动器输出到多个加热器的驱动信号来对多个加热器的功率输出进行控制，以实现对静电夹盘的不同区域进行升温或降温操作。反应腔体内部均受到射频功率的辐射，任何从射频辐射区连出的导线均需要通过滤波器才能将射频功率阻挡在反应腔体内，防止射频功率泄露。其中，加热器驱动控制器位于反应腔**频辐射环境中，加热电源位于反应腔外大气环境中。本发明的加热器需要通过导电线路向反应腔内的加热系统供电，所以位于反应腔外大气环境中的加热电源通过导线和串联在导线上的射频滤波器进入反应腔内。本发明的等离子处理装置中还包括一个主机，用于存储处理工艺的参数如温度、频率、功率、气体成分流量，执行时间等，也用于执行等离子处理工艺执行，也可以检测上述各种参数。具体地，mcu与主机通信连接，mcu获取主机的控制指令，并将该控制指令转换成驱动信号发送给加热器驱动器，使得加热器驱动器对应地驱动多个加热器对静电夹盘进行加热工作，mcu还可以将多个加热器接收到的静电夹盘温度通过加热器驱动器反馈给主机，实现对加热系统的控制。千岛超薄手动卡盘适合任何加工中心使用。原装进口强力超薄型夹盘系列

    仍在另一实施方式中，***电极组件设置于邻接主体的顶部表面，在多个支撑元件的各者之中，且第二电极组件设置于主体之中，邻接多个空腔的各者。图1a图解根据此处所述的实施方式的具有微结构106形成于上面的小晶片的基板100的平面视图。在一个实施方式中，基板100以玻璃或类玻璃材料形成，例如石英或蓝宝石。在另一实施方式中，基板以半导体材料形成，例如硅材料或类似者。尽管基板100图解为具有实质上圆形的形状，应考虑基板100可为多边形的形状，例如四边形的形状，举例而言，矩形或方形。基板100图解为具有多个小晶片104形成于上面。小晶片104相对应至基板100以所欲结构图案化的区域，用于在各种器件中后续利用，器件例如计算器件、光学器件或类似者。小晶片104包括微结构106形成于上面。微结构106为通过各种制作处理形成于小晶片104上的特征，制作处理例如光刻处理，举例而言，纳米印刷光刻(nil)处理。或者，微结构106为在基板100上蚀刻或沉积的特征。在一个实施方式中，微结构106为光栅结构，且小晶片104考虑为波导或波导装置的部分。小晶片104被布置在基板100上，而具有切口区域108形成于邻接小晶片104之间。切口区域108为基板表面并未被小晶片104占据的区域。原装进口强力超薄型夹盘系列上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务OPT-L系列。

    本公开内容的实施方式一般涉及基板夹盘。更具体而言，此处所述的实施方式涉及图案化基板夹盘。背景技术：基板夹持装置通常在半导体和显示器工业中使用，以在传送或处理基板期间支撑基板。新兴技术已导向开发各种先进的处理技术，用于基板上的器件和结构制作。举例而言，用于虚拟现实和增强现实应用的波导装置的制作已突破了传统基板处理技术的界限。波导装置并入形成于玻璃或类玻璃基板上的微结构。常常，微结构形成于基板的前侧和基板的背侧。然而，在处理期间处置和支撑具有微结构形成于基板的前面和背面的基板是具有挑战性的。举例而言，传统夹持装置当处理前侧时可能损伤形成于基板的背侧上的微结构。因此，本领域中需要改良的夹持装置。技术实现要素：在一个实施方式中，提供一种基板夹持装置。装置包括主体，主体具有顶部表面和相对于顶部表面的底部表面，多个空腔形成于主体中且从顶部表面凹陷，及多个支撑元件将多个空腔分开，而从主体延伸至顶部表面。多个通口形成于主体中且从顶部表面通过多个支撑元件的一个或多个而延伸至底部表面，且导管与多个通口的各者流体连通。在另一实施方式中，提供一种基板夹持装置。装置包括主体。

    经由第二多个导管402和第二多个通口404与空腔206流体连通的第二真空源406产生第二真空压力，以在暴露至***真空压力期间进一步降低空腔206的压力，且降低或消除基板100的翘曲。应考虑取决于所期望的夹持特性，***真空压力可大于、小于或等于第二真空压力。图5图解根据此处所述的实施方式的图4的真空夹持装置200的平面视图。如图示，第二多个通口404定位在空腔206之中。应考虑***多个通口210和第二多个通口210的一者或两者可彼此一致性使用或彼此**使用，以实现将基板100夹持至主体201。尽管第二多个通口404图解为圆形的形状，应考虑可替代地利用各种多边形的形状，类似于图3b中图解的***多个通口的形状。举例而言，第二多个通口404可为环形的形状，或许多第二通口404可设置于单一空腔206之中。图6图解根据此处所述的实施方式的静电夹持装置600的截面视图。类似于装置200，装置600包括主体601，主体601具有顶部表面603及相对于顶部表面603定向的底部表面604。在一个实施方式中，主体601以金属材料形成，例如铝、不锈钢、或上述的合金、结合和混合物。在另一实施方式中，主体601以陶瓷材料形成，例如氮化硅材料、氮化铝材料、氧化铝材料、或上述的结合和混合物。千岛卡盘方型超薄手动适合任何加工中心使用。

    中国台湾千岛卡盘CT-09可调式普通型三爪钢壳夹头卡盘经由优异的45号钢精密加工锻造而成，性能优越，耐磨性能强，加工精度高。在连续工作8小时候需要注射一次卡盘**润滑油二硫化钼（油脂溢出油嘴口为佳），半年后需要把卡盘全部分解用油脂全面清洗一次，按时保养能有效的减少卡盘磨损，保持卡盘长久的加工精度和使用寿命。台隍机电一手货源，价格更具优惠性。中国台湾千岛卡盘CT-09可调式普通型三爪钢壳夹头参数中国台湾千岛卡盘CT-09可调式普通型三爪钢壳夹头实物图片中国台湾千岛卡盘CT-09可调式普通型三爪钢壳夹头售前：8年从业经验，提供专业夹持方案及技术选型；优势：一手货源，价格优势；交期：浙江、上海、广东，千万库存现货供应，就近发货原则；品质：原装进口品质保证；服务：原厂保修一年，终身技术服务支持，一次交易终身朋友。卡盘云-宁波台隍机电设备有限公司，成立于丝绸之路起航地-宁波，是大陆进口卡盘的新秀，我们的愿景是让中国工厂能用得到更好的进口品牌卡盘，我们一直在整合现有的资源，尽我们大的努力与上游供应厂商沟通，整合订单尽量压低采购价格，目前已经确定合作的厂商有：中国台湾亿川、中国台湾千岛、中国台湾通福。千岛方型超薄手动卡盘适合任何加工中心磨穿使用。原装进口强力超薄型夹盘系列

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    所述盘本体包括外周环、中间十字连接架，所述中间十字连接件的交叉位置底部设置有下凸支承圆柱，所述支承台分别布置于所述十字连接架的延伸至所述外周环的延长点位置处，使得支承台稳固可靠。采用上述技术方案后，掩模基板的四角定位孔分别通过支承台上的上凸圆柱定位，掩模基板的下表面支承于支承台的上表面，之后内凸挡块的底部卡装部分塞装于垂直安装槽内、使得上部内凸止挡部分位于掩模基板的正上方面域布置，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。附图说明图1为本实用新型的立体图结构示意图；图2为内凸挡块的立体图结构示意图；图3为内凸挡块和支承台的安装结构示意图；图中序号所对应的名称如下：盘本体1、外周环11、中间十字连接架12、下凸支承圆柱13、支承台2、上凸圆柱3、导向凸台4、内侧立面41、相向面42、垂直安装槽5、内凸挡块6、上部内凸止挡部分61、底部卡装部分62、紧固螺丝7、大头端71。具体实施方式一种掩模工艺夹盘，见图1-图3，其包括其包括盘本体1，盘本体1的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台2。原装进口强力超薄型夹盘系列

上海昱彦精密机械有限公司是一家机械设备及零配件、刀具、五金机电、机电设备、电机及配件、电线电缆、工具刃具、金属材料、环保设备、紧固件、模具及配件、电气设备、汽车配件、仪器仪表、电动工具、制冷设备、机床及附件销售，机电设备、数控机床、机械设备安装维修，电脑图文设计制作，模型设计，从事数控机床、机械设备科技专业领域内技术咨询。的公司，致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。昱彦精密深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的中国台湾千岛卡盘油缸卡爪，日本日研转台刀柄，中国台湾昱伟工装夹治具，中国台湾潭兴数控分度盘。昱彦精密始终以本分踏实的精神和必胜的信念，影响并带动团队取得成功。昱彦精密创始人刘军岐，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。