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环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。这样的管子性能稳定，同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢？这要从硅光电二极管的制造工艺谈起。在制造硅光电二极管的管心时，将硅单晶片经过研磨抛光后在高温下先生长一层二氧化硅氧化层，然后利用光刻工艺在氧化层上刻出光敏面的窗口图形，利用扩散工艺在图形中扩散进去相应的杂质以形成P－N结。然后再利用蒸发、压焊、烧结等工艺引出电极引线。世华高硅光电二极管性能稳定，技术成熟。上海硅光电硅光电二极管电池

将石英玻璃罩1与下固定板7连接，使石英玻璃罩1与下固定板7形成一密闭空间，在连接时，打开电磁铁开关，电磁铁6与磁环17磁性连接，以增强石英玻璃罩1与下固定板7之间的密封性能，从而保证真空焊接系统的实用性，确认将石英玻璃罩1封闭后，型号为suk2n-1412mr/mt的plc控制器型号为zca的真空电磁阀9开启，同时型号为rv2000y的微型真空泵10将石英玻璃罩1中的空气抽出，使石英玻璃罩1内部保持真空，当石英玻璃罩1内部处于真空环境后，打开感应线圈开关，感应线圈16对二极管硅叠进行高频加热，同时打开温度检测仪开关和熔深检测仪开关，型号为sin-r9600的温度检测仪13和型号为bx-200的熔深检测仪14对加热温度和熔化厚度进行检测，当加热温度和熔化厚度达到一定要求时，停止加热，同时关闭型号为zca的真空电磁阀9和型号为rv2000y的微型真空泵10。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。上海硅光电硅光电二极管电池硅光电二极管谁做的好，世华高！

世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。高反层109由高折射率薄膜与低折射率薄膜交替叠加组成；2)利用等离子刻蚀机在高反层109上以干法刻蚀开设刻蚀孔，并刻蚀掉与正面金属电极106相对的高反层109；3)刻蚀完成后，在高反层109上以化学气相淀积的方法生长电阻率500～1000ohm·cm的n-外延层，其厚度与耗尽区宽度相当；4)在外延层101上以as离子源进行n型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成保护环102。与保护环102间距12～20um，在外延层101上以b离子源进行p型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成有源区103；5)在保护环102和有源区103上通过热氧化法生成sio2层104，在sio2层上方淀积生长si3n4层105；6)接连刻穿si3n4层和sio2层形成接触孔，然后溅射al，并将溅射层刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107背面直接进行金属化处理形成背面电极108。下面给出具体的实施例。实施例11)在n+重掺杂的衬底107上溅射生成厚度3～5um的高反层109，2)利用等离子刻蚀机干法刻蚀工艺在高反层109刻孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长n-外延层101。

6)在sio2层104、si3n4层105上刻出接触孔，然后溅射金属，溅射完成后刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107的背面做金属化处理形成背面电极108。进一步的，所述的衬底107采用电阻率20～100为ohm·cm的低电阻率硅材料；衬底107直接与背面金属形成良好的欧姆接触；所述的高反层109是由折射率～～，通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成；所述的外延层101的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层101的厚度与耗尽区宽度相当；所述的保护环102为as离子源注入，注入剂量为1e15～2e15。所述的有源区103为b离子源注入，注入剂量为1e15～2e15；所述的正面金属电极106是在溅射al之后刻蚀形成。具体的，包括以下操作：1)以在n+掺杂硅材料作为衬底107，在其上通过化学气相淀积或光学镀膜生成厚度3～5um的高反层109；其中。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。硅光电池就找深圳世华高。

本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。硅光电二极管供应商就找世华高！上海硅光电硅光电二极管电池

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具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上；在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102，以p型离子注入形成有源区103；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105；所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图，rsh为光电二极管关断阻抗，rsh＝∞，rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。上海硅光电硅光电二极管电池