HJT电池整线技术路线工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层,并且在表面进行制绒,以形成绒面结构达到陷光效果,减少反射损失;2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H,作为钝化层,然后再沉积掺杂层;3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积;4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作;5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作,然后通过低温烧结形成良好的接触;6.光注入。7.电池测试及分选。HJT电池具有高效率、低成本、长寿命等优势,是未来光伏产业的重要发展方向。北京国产HJT制绒设备
制备种子层的主要作用为提升栅线与 TC+C68:C69O 层之间的导电性和附着力。由于 HJT 电 池电极接触透明导电薄膜(TCO 层),会存在电镀金属与 TCO 层之间吸附力较差的问 题,通常借鉴半导体行业的方案,在电镀金属与 TCO 层之间制备整面“种子层”、掩膜电 镀后去除掩膜蚀刻未电镀部分种子层来解决附着力的问题。釜川(无锡)智能科技有限公司,以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品,打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队,凭借技术竞争力,在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面都有独特优势;以高效加工制造、快速终端交付的能力,为客户提供整线工艺设备的交付服务。北京国产HJT制绒设备随着HJT技术的进一步成熟,设备国产化推进,投资成本继续降低,使HJT技术将更具有竞争力。
HJT是HeterojunctionTechnology的缩写,是一种N型单晶双面电池,具有工艺简单、发电量高、度电成本低的优势。异质结太阳能电池使用晶体硅片进行载流子传输和吸收,并使用非晶/或微晶薄硅层进行钝化和结的形成。顶部电极由透明导电氧化物(TCO)层和金属网格组成。异质结硅太阳能电池已经吸引了很多人的注意,因为它们可以达到很高的转换效率,可达26.3%,由隆基团队对HJT极限效率进行更新为28.5%,同时使用低温度加工,通常整个过程低于200℃。低加工温度允许处理厚度小于100微米的硅晶圆,同时保持高产量。
HJT太阳能电池使用晶体硅片进行载流子传输和吸收,并使用非晶/或微晶薄硅层进行钝化和结的形成。顶部电极由透明导电氧化物(TCO)层和金属网格组成。异质结硅太阳能电池已经吸引了很多人的注意,因为它们可以达到很高的转换效率,可达26.3%,相关团队对HJT极限效率进行更新为28.5%,同时使用低温度加工,通常整个过程低于200℃。低加工温度允许处理厚度小于100微米的硅晶圆,同时保持高产量。异质结电池转换效率高,拓展潜力大,工艺简单并且降本路线清晰,契合了光伏产业发展的规律,是有潜力的下一代电池技术。光伏HJT是一种高效的太阳能电池技术,能够将太阳能转化为电能。
HJT电池整线解决方案,制绒清洗的主要目的有,1去除硅片表面的污染和损伤层;2利用KOH腐蚀液对n型硅片进行各项异性腐蚀,将Si(100)晶面腐蚀为Si(111)晶面的四方椎体结构(“金字塔结构”),即在硅片表面形成绒面,可将硅片表面反射率降低至12.5%以下,从而产生更多的光生载流子;3形成洁净硅片表面,由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分,避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时,单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显,速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF);因此改变碱溶液的浓度及温度,可以有效地改变AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面;在制绒工序,绒面大小为主要指标,一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。HJT电池的制造工艺与PERC电池相似,但结构更加优化,使其具有更高的性能。北京国产HJT制绒设备
HJT电池的广泛应用将有力推动绿色能源的发展,为实现碳中和目标做出积极贡献。北京国产HJT制绒设备
高效HJT电池生产设备,制绒清洗的主要目的有,1去除硅片表面的污染和损伤层;2利用KOH腐蚀液对n型硅片进行各项异性腐蚀,将Si(100)晶面腐蚀为Si(111)晶面的四方椎体结构(“金字塔结构”),即在硅片表面形成绒面,可将硅片表面反射率降低至12.5%以下,从而产生更多的光生载流子;3形成洁净硅片表面,由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分,避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时,单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显,速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF);因此改变碱溶液的浓度及温度,可以有效地改变AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面;在制绒工序,绒面大小为主要指标,一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。北京国产HJT制绒设备