金融界2024年2月1日消息,据国家知识产权局公告,南京高华科技股份有限公司取得一项名为“一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法“,申请日期为2022年8月。摘要显示,本发明提供一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,MEMS压阻式压力传感器包括衬底、氧化层、第二氧化层和压敏电阻;所述氧化层包括区域和第二区域,所述区域位于所述平面的上方并平行于所述平面;所述第二区域的一端连接所述衬底,另一端连接所述区域;所述衬底、所述区域、所述第二区域之间围合构成中空的腔室,且至少部分所述第二区域倾斜设置;在所述氧化层和所述第二氧化层之间夹设所述压敏电阻,且所述压敏电阻沿所述第二区域的倾斜面敷设。本发明的一个技术效果在于,结构设计合理,不仅能够地缩小MEMS压阻式压力传感器的尺寸,还有助于提升MEMS压阻式压力传感器的灵敏度。压力传感器的安装和连接方式也会影响其性能。江苏威力压力传感器
该误差的产生原因在于扩散过程的变化。第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一定的误差校准,尽的可能来降低误差以满足客户的需要。江苏威力压力传感器在高温、低温、高压等恶劣环境下,压力传感器仍能保持稳定的性能。
硅基压阻式压力传感器应用,在传感器中具有十分重要的地位。该传感器的发展方向是小型化、高灵敏度、良好温度特性和集成化,为此学者们对半导体力敏材料和传感器结构进行了深入研究。研究表明多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻特性,并较好地应用于体硅压力传感器。但该材料现有的的压阻系数算法理论推导存在一定欠缺,且该材料的应用范围亟待扩大。为了改进多晶硅的压阻系数算法,本文提出了一种p型多晶硅纳米薄膜压阻系数算法,该算法计算的应变因子(GF)与测试结果具有良好的一致性。并且,为了利用多晶硅纳米薄膜的压阻特性,设计研制了一种以多晶硅纳米薄膜为力敏电阻的层压阻式压力传感器芯片,该传感器芯片具有体积小、满量程输出高、过载能力强和易集成的,应用前景良好。隧道压阻理论利用量子隧道效应和能带退耦分裂理论,阐明了隧道压阻效应的形成机理,在此基础上建立了多晶硅压阻特性的新模型——隧道压阻模型(TPM),该理论较好解释了重掺杂p型多晶硅纳米薄膜应变因子较高的现象。但是,现有的基于该理论的压阻系数算法以p型单晶硅压阻实测数据拟合曲线为基础求取压阻系数与掺杂杂质浓度关系模型,且只给出压阻系数π44模型。因此,该算法需要改进。
压力感应金属按键开关方案是一种的技术,广泛应用于各种电子设备中。它具有以下几个特点:1.高灵敏度:压力感应金属按键开关方案采用的感应技术,能够实时感知用户的触摸压力,响应速度快,操作灵敏,能够提供更好的用户体验。2.高可靠性:压力感应金属按键开关方案采用的金属材料制造,具有良好的耐久性和稳定性,能够在长时间使用中保持良好的性能,不易出现故障。3.多功能性:压力感应金属按键开关方案可以根据客户的需求进行定制,可以实现多种功能,如调节音量、切换模式、亮度等,满足不同用户的需求。4.美观大方:压力感应金属按键开关方案外观简洁、美观,可以与各种电子设备完美融合,提升产品的整体品质和档次。我们公司是一家从事压力感应金属按键开关方案的研发和生产的企业。我们拥有一支技术精湛、经验丰富的团队,致力于为客户提供的产品和服务。如果您对压力感应金属按键开关方案感兴趣,欢迎随时联系我们,我们将竭诚为您提供的解决方案。力灵智能的压力传感器在汽车行业中也有着广泛的应用前景。
压力传感器是工业实践中为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。压力传感器的种类繁多,其性能也有较大的差异,如何选择较为适用的传感器,做到经济、合理的使用。1.额定压力范围:额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在和低温度之间,传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。2.压力范围:大压力范围是指传感器能长时间承受的大压力,且不引起输出特性性改变。特别是半导体压力传感器,为提高线性和温度特性,一般都大幅度减小额定压力范围。因此,即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。压力传感器的量程是指它可以测量的最大压力值。江苏威力压力传感器
压力传感器可以实现实时数据采集和传输,为决策者提供及时准确的数据支持。江苏威力压力传感器
智能压力传感器,压力传感器是将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件(或应变计)组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变,然后由位移敏感元件或应变计转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体。压力传感器广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。江苏威力压力传感器
扩散硅压力传感器扩散硅压力传感器是把带被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。4.蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件。用硅-蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器,可在恶劣的工作条件下正常工作,并且可靠性高、精度好、温度误差极小、性价比高。我们的压力传感器可提供多种输出信号选项。梅州压力传感器灵敏度压力传感器压力传感器的性能参数压力传感器的种类繁多,其性能也有较大的差异,如何选择较为适用的传感器,做到经济...