洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我们常见的粉尘来说是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。洁净室内使用的化学品和消毒剂需符合相关安全标准。浙江洁净工作台检测值得推荐
洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。浙江洁净工作台检测值得推荐采用智能化管理系统,提高洁净室检测数据的管理效率。
(七)室内噪声1、仪器设备和环境仪器,设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。3、技术要求室内噪声级应符合《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的规定。在空态情况下,非单相流洁净室不应大于60dBA;单向流、混合流洁净室不应大于65dBA;洁净室的噪声频谱限制各频带的声压级值不应大于《洁净厂房设计规范》GB50073-2001表4.4.2的规定。4、操作过程及判定(1)测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。(2)洁净室面积在15m点采样,除房间两对角线相交的室中心位置外,另在房间四角对角线上对称的选取4点。(3)执行标准的编号及标准实施日期。(4)被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。(5)被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径或沉降菌、浮游菌、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差、被测洁净室的温湿度、噪声。(6)测试用的仪器的编号和标定征书测试方法细则及测试中的特殊情况.(7)测试结果包括在采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。(8)对异常测试值进行说明及数据处理。
1、医院洁净手术部:风速、换气次数、静压差、洁净度级别、温湿度、噪声、照度、细菌浓度。2、医药工业洁净厂房:空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间、已安装过滤器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、电子工业洁净厂房:空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间。4、食品工业洁净用房:定向气流、静压差、洁净度、空气浮游菌、空气沉降菌、噪声、照度、温度、相对湿度、自净时间、甲醛、Ⅰ级工作区截面风速、开发的洞口风速、新风量。主要工作室一般照明的照度值宜为3001x。
(1)净化处理原则:能用局部净化的场合,就尽可能不用净化;或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间,这样做虽然有利于控制污染,但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便,以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性,洁净室的微粒实际上是不均匀分布的,较为典型的三区不均匀分布模型,即分为主流区、涡流区和回风口区。主流区含区含尘浓度可比室平均浓度低30%到一半。建议把工艺布置在主流区内。(3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段,上风段相对来说,洁净程度比下风段要好表2为某10万级洁净车间内沿一条送风管走向设置的六个测点检测结果(空态下),测点l~6由上风段依次向下,可以看出,各点尘粒数有较大区别当然,其中也有送风管上各送风口风量没有较好调节的原因,但这种较大区别的可能还是不可忽视。洁净室检测应建立档案,记录每次检测的情况和结果。浙江洁净工作台检测值得推荐
检测为送回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。浙江洁净工作台检测值得推荐
洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中,尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高,因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准,随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损,甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外,还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见,就是让室内的空气压力大于室外的压力,这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。浙江洁净工作台检测值得推荐
1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括...