半导体VOCs治理技术

催化氧化法，催化氧化法使用的催化剂有两种，即贵金属催化剂和非贵金属催化剂。贵金属催化剂主要包括Pt、Pd等，它们以细颗粒形式依附在催化剂载体上，而催化剂载体通常是金属或陶瓷蜂窝，或散装填料;非贵金属催化剂主要是由过渡元素金属氧化物，比如MnO2，与粘合剂经过一定比例混合，然后制成的催化剂。为有效防止催化剂中毒后丧失催化活性，在处理前必须彻底清理可使催化剂中毒的物质，比如Pb、Zn和Hg等。如果有机废气中的催化剂毒物、遮盖质无法清理，则不可使用这种催化氧化法处 理VOC。液态二氧化碳吸收法利用二氧化碳吸收VOCs，实现废气净化。半导体VOCs治理技术

根据“一企一策”的原则，根据客户的不同情况，为企业量身定制VOCs废气治理系统解决方案，方案经过专业人士组论证和工程部评估，节能高效、可实施。VOCs废气（挥发性有机化合物废气）的来源普遍，包括工业生产过程中的排放、溶剂使用、交通运输等。这些废气对环境和人类健康构成威胁，因此需要有效的处理和治理技术。VOCs废气的主要特点包括：1. 挥发性：在常温下很容易挥发形成气体，造成大气污染。2. 多样性：成分复杂，含有多种有机化合物。3. 环境影响：破坏臭氧层，危害人类健康和生态环境。半导体VOCs治理技术VOCs废气处理是一种用于降低挥发性有机化合物（VOCs）排放的技术。

等离子体分解法，等离子体分解法是在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，引发了一系列复杂的物理、化学反应，从而使污染物得以降解去除的一种废气治理方法。优点：工艺简洁，低耗节能，设备材料抗氧化强，抗腐蚀，使用寿命长，能高效去除含有挥发性有机物、无机物、硫化氢、氨气等主要污染物的废气。缺点：等离子体技术在废弃物处理过程中，所要求的真空环境，带来了一定的技术难题，现在还是在处于研究阶段，目前很多研究只针对单一的污染物。

蓄热式催化燃烧(RCO)适用范围：适用于中高浓度有机废气的净化，操作温度低，去除效率高（95%以上），热回收效率高(＞90%)，运行成本较蓄热式焚烧（RTO）低。不适用范围：不适用于处理含硫、含卤、易自聚、易反应等物质（苯乙烯），易造成催化剂失活或蓄热体堵塞。理论效率：95%以上。处理原理：有机废气经换热器预热进入催化氧化炉进行分解；在催化氧化炉内被加热到300～400℃的有机废气（VOCs）在贵金属催化剂的作用下发生无焰燃烧，VOCs被氧化分解成CO₂和H₂O经烟囱排放到空气中。膜生物反应器结合膜分离和生物降解技术，提高VOCs处理效果。

活性炭吸附法，活性炭吸附是将有机废气由排气风机送人吸附床，有机废气在吸附床被活性炭吸附剂吸附而使气体得到净化，净化后的气体排向大气即完成净化过程。优点：吸附率高，运行能耗低，费用成本低，安全可靠，适用于有爆裂的危险场所，吸附剂可以回收，节能环保。缺点：不耐高温，在湿润的条件下不能保持很好的吸附能力；易燃，较快达到饱和吸附而失去效用；产生二次固体或液体污染物。生物法，生物法是微生物将有机成分作为碳源和能源，并将其分解为CO2和H2O过程的一种方法。优点：设备简单、投资少、运行费用低、无二次污染，处理VOCs废气效果理想。缺点：反应装置占地面积大、反应时间较长。生态文明背景下，VOCs废气处理成为企业履行社会责任的重要体现。半导体VOCs治理技术

吸附法是处理VOCs废气的常用手段，活性炭因具有较高的吸附容量而备受青睐。半导体VOCs治理技术

VOCs常用的方法：1、冷凝收集法，对反应釜高温有机气体可采用冷凝收集 , 先用直冷凝再螺旋冷凝 , 该法除气效果明显 , 易操作、运行成本低 , 但对低沸点气体效果不佳。2、生物处理法，有机废气的生物处理是较经济有效的方法 , 效果好、运行费用低于任何一种处理方法 , 安全、易操作。2、采用替代 HAP 溶剂法，溶剂型涂料中的 VOCs 污染物主要是甲苯、二甲苯中的挥发气体 , 虽然苯类稀释剂具有很多施工上的优点 , 但其有毒有害作用是众所周知的。因此 , 有的厂家正在寻找能替代含甲苯、二甲苯溶剂的配方 , 使涂料环保性能更好。半导体VOCs治理技术